过滤器选型简介

特气论坛2018-07-08 13:12:17

本文仅针对特种气体行业过滤器做简单阐述,举例如:SiH4,Cl2,NH3,HCl,Ar,N2 等等

目前在电子特种气体行业常见的品牌如下:Pall,MOTT,Entegris,SWAGELOK,TEM等等。

过滤基本机理如下图:


针对具体使用中的型号选择依据如下:

1:材质兼容性(壳体及滤材)

PCTFE滤材+3000

316L滤材+1000

Nickel滤材+1000


2:外观尺寸及接口标准

3:工作压力及工作温度

4:内部表面洁净度

5:过滤精度

6:过滤性能确认

7:流量-压降匹配度确认


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